3 mm x 3 mm （窗口尺寸：0.5 mm，薄膜厚度：50 nm）

3 mm x 3 mm （窗口尺寸：1.0 mm，薄膜厚度：50 nm）

3 mm x 3 mm （窗口尺寸：1.0 mm，薄膜厚度：100 nm） 

边框厚度： 200μm、381μm

Si3N4薄膜厚度： 50nm、100nm