随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展,越来越多的传感器在向低功耗、微型化、集成化和智能化的方向发展,尤其近些年来伴随消费电子、智慧家庭和智能穿戴等潜力市场的成长,不断有新型传感器出现,这些新型传感器在工业、汽车和消费等主流市场都已经有腾飞的基础。 MEMS微加热芯片因其独特的结构和性能,近几年受到国内外广泛关注,应用于热学MEMS传感器领域。其以半导体材料单晶硅为基材,结合贵金属、多晶硅等加热材料,利用微纳米加工技术中的光刻、溅射、刻蚀等工艺步骤,形成悬空式的MEMS热学结构。 苏州甫一电子科技有限公司基于市场方面的迫切需求,结合公司团队多年以来在MEMS传感器领域中仿真、设计、工艺、封装和测试等产品开发方面的技术和经验积累,自主研发出具有低功耗、微型化和性能良好的MEMS硅基微热芯片,为国内MEMS热学传感器的发展奠定了良好的基础。 |